Развитие систем микроэлектромеханических систем (MEMS): Сенсоры и актуаторы
Развитие микроэлектромеханических систем (MEMS) представляет собой одну из наиболее динамично развивающихся областей науки и техники на стыке микроэлектроники, механики и материаловедения. MEMS, по сути, являются миниатюрными устройствами, интегрирующими механические и электронные компоненты на одном кремниевом кристалле, либо другом подходящем материале, используя микрофабрикационные технологии. Уникальное сочетание небольших размеров, низкого энергопотребления и возможности массового производства делает MEMS … Читать далее